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瑞柯微兩探針電阻率測試儀FT-300TZ
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一、功能介紹:
適用于半導體材料企業、科研、高等院校及實驗室分析半導體材料縱向電阻率;可測量橫截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率,試樣長度與截面尺寸之比應不小于3:1;配置測量平臺,正反向電流測量模式;液晶顯示,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,可選購PC軟件實時數據和報表管理;提供中文或英文兩種語言操作界面選擇.
二.參照標準:
FT-300TZ兩探針電阻率測試儀
GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法;
SEMI MF 397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>
三、參數 資料
1.電阻率:10^-7~2×10^7Ω-cm
2.電 阻:10^-7~2×10^7Ω
3.電導率:5×10^-7~10^7s/cm
4.分辨率: 0.1μΩ 測量誤差±(0.05%讀數±5字)
5.測量電壓量程: 2mV 20mV 200mV 2V 測量精度±(0.1%讀數)
6.分辨率: 0.1uV 1uV 10uV 100uV
7.電流輸出:直流電流 0~1000mA 連續可調,
量程:1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,1000mA, 誤差:±0.2%讀數±2字
8.顯示方式:液晶顯示:電阻值、電阻率、電導率值、溫度、單位自動換算、橫截面、高度、電流、電壓等.
9.溫度要求:23℃±1℃
10.電源:220±10% 50HZ/60HZ
11. 測量平臺參數如下:
FT-300TZ兩探針電阻率測試儀
1).可測硅芯、檢驗棒尺寸:直徑4~22㎜ (其他規格可定制)
2).探針頭探針與試樣接觸位置重復,無橫向移動。
3).兩探針測試探針。探頭間距1.59mm(其他規格可定制);探針機械游率:±0.3%。
4).探針直徑0.8㎜;探針壓力總6-12N,探針材料:鎢針,
5).探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐
12.標配外選購項:a.pc軟件1套;b.標準電阻1件;c.電腦和打印機
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